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半导体材料

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全氟丁二烯 CAS:685-63-2

更新时间:2020-07-04 点击数:614

全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃,沸点为5.9℃。全氟丁二烯属于第三代蚀刻气体,它与传统含氟蚀刻气体相比,具有优越的蚀刻性能和环境性能。

全氟丁二烯由于其独特的F/C比,与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比,具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比,可以蚀刻小于100nm甚至更窄的电子线路。此外,C4F6比c-C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比,在使用时可以提高蚀刻的稳定性,提高蚀刻速率和均匀度,从而提高产品优良率。


产品指标


此外,由于全氟丁二烯的环境性能优良,用它取代在氧化膜蚀刻工艺中常用的C3F8和c-C4F8蚀刻气,在排气中可分别降低温室气体全氟化合物(PFCs)体积分数80%和82%。

产品用途

应用于半导体芯片的干法刻蚀气

包装

铝白色钢瓶,钢瓶型号DOT-3AA,瓶阀型号CGA350,产品规格分为10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三种,包装规格可根据客户需求定制。

贮存

贮存于阴冷通风干燥处,远离火种、热源。



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