六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体，分子量为146.07，熔点为-51℃，沸点为-64℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高。电子级高纯六氟化硫是一种理想的蚀刻剂，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为掺杂剂使用。

产品指标

产品用途：

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中六氟化硫用作生产掺氟玻璃的氟源。此外，六氟化硫还可作为绝缘气体、示踪剂、冷冻剂使用。        

包装、贮存：

六氟化硫充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶一般容积为40L。具体包装规格可根据用户要求定制更改。六氟化硫储存于阴凉、通风的库房，远离火种、热源，库温不宜超过30℃，应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储，储区应备有泄漏应急处理设备。