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半导体制程(支撑)材料

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四氟化钛 CAS#: 7783-63-3

更新时间:2020-07-04 点击数:2471

四氟化钛 CAS#: 7783-63-3

四氟化钛,又称氟化钛,分子式为TiF4,分子量为123.86,熔点为284℃,是一种具有吸湿性的白色粉末。四氟化钛溶于冷水中可分解,溶于硫酸、乙醇和吡啶,不溶于乙醚。四氟化钛在微电子工业、石化等行业中具有重要的应用。

产品指标

产品用途:

在电子工业中,四氟化钛可用于成膜材料或离子注入掺杂,形成硅化钛或钛膜,制作低电阻、高熔点的电路互联线和栅极。四氟化钛在石化行业中可用作催化剂。  

包装、贮存:

四氟化钛储存于密封的铜质容器中,包装规格为10g、100g,具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化钛储存于阴凉、通风的库房,库温不宜超过37℃,保持容器密封,远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。



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