全氟丁二烯(C₄F₆)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃，沸点为5.9℃。全氟丁二烯属于第三代蚀刻气体，它与传统含氟蚀刻气体相比，具有优越的蚀刻性能和环境性能。

全氟丁二烯由于其独特的F/C比，与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比，具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比，可以蚀刻小于100nm甚至更窄的电子线路。此外，C₄F₆比c-C₄F₈具有更高的对光阻和氮化硅选择比，在使用时可以提高蚀刻的稳定性，提高蚀刻速率和均匀度，从而提高产品优良率。

产品指标

此外，由于全氟丁二烯的环境性能优良，用它取代在氧化膜蚀刻工艺中常用的C₃F₈和c-C₄F₈蚀刻气，在排气中可分别降低温室气体全氟化合物（PFCs）体积分数80%和82%。

产品用途

应用于半导体芯片的干法刻蚀气。

包装

铝白色钢瓶，钢瓶型号DOT-3AA，瓶阀型号CGA350，产品规格分为10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三种，包装规格可根据客户需求定制。

贮存

贮存于阴冷通风干燥处，远离火种、热源。