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半导体制程(支撑)材料

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六氟化碲

更新时间:2020-08-15 点击数:8478


六氟化碲(TeF6)是一种无色的固体物质,具有刺激性的刺鼻气味。其化学性质活泼,能与许多物质发生反应。六氟化碲还是一种强氧化剂,能交换氧气,氧化其它物质。具有较高的蒸汽压,易于挥发,遇热分解释放出剧毒的氟化氢。在空气中可形成具有剧毒性和刺激性的蒸气。

产品指标:

产品用途:

六氟化碲是新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体,被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化碲果一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源,在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。

产品储存:

六氟化碲存于阴凉、通风的有毒气体专用库房,库温不宜超过 30℃。要保持容器密封,防止气体泄漏。


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