电子专用气体是指半导体及相关电子产品生产中使用的专用气体，根据应用方式的不同，可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管气体、刻蚀气体、化学气相沉积气体和平衡气体。半导体行业使用的单位专用气体有110多种，其中常用的有30多种。

      山东重山光电材料股份有限公司目前量产四氟化锗、二氟化氙、三氟化氯、三氟碘甲烷、三氟化氮、四氟化锗、四氟化钛、四氟化硅、六氟化钨、六氟化钼、全氟丁二烯等高纯含氟电子特气，根据成分和用途的不同，电子特种气体大致可分为7种：掺杂气体、外延晶体生长气体、离子注入气体、刻蚀气体、气相沉积(CVD)气体、平衡/反应气体和掺杂配方气体。其中一些特殊气体用在很多环节(比如硅烷)。